芯片是如何制造的?
芯片制作完整过程包括 芯片设计、晶片制作、封装制作、成本测试等几个环节,其中晶片片制作过程尤为的复杂。
首先是芯片设计,根据设计的需求,生成的“图样”
1, 芯片的原料晶圆
晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体需要的晶圆。晶圆越薄,成产的成本越低,但对工艺就要求的越高。
2,晶圆涂膜
晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力,其材料为光阻的一种,
3,晶圆光刻显影、蚀刻
该过程使用了对紫外光敏感的化学物质,即遇紫外光则变软。通过控制遮光物的位置可以得到芯片的外形。在硅晶片涂上光致抗蚀剂,使得其遇紫外光就会溶解。这是可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的部分被溶解,这溶解部分接着可用溶剂将其冲走。这样剩下的部分就与遮光物的形状一样了,而这效果正是我们所要的。这样就得到我们所需要的二氧化硅层。
4、搀加杂质
将晶圆中植入离子,生成相应的P、N类半导体。
具体工艺是是从硅片上暴露的区域开始,放入化学离子混合液中。这一工艺将改变搀杂区的导电方式,使每个晶体管可以通、断、或携带数据。简单的芯片可以只用一层,但复杂的芯片通常有很多层,这时候将这一流程不断的重复,不同层可通过开启窗口联接起来。这一点类似所层PCB板的制作制作原理。 更为复杂的芯片可能需要多个二氧化硅层,这时候通过重复光刻以及上面流程来实现,形成一个立体的结构。
5、晶圆测试
经过上面的几道工艺之后,晶圆上就形成了一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。 一般每个芯片的拥有的晶粒数量是庞大的,组织一次针测试模式是非常复杂的过程,这要求了在生产的时候尽量是同等芯片规格构造的型号的大批量的生产。数量越大相对成本就会越低,这也是为什么主流芯片器件造价低的一个因素。
6、封装
将制造完成晶圆固定,绑定引脚,按照需求去制作成各种不同的封装形式,这就是同种芯片内核可以有不同的封装形式的原因。比如:DIP、QFP、PLCC、QFN 等等。这里主要是由用户的应用习惯、应用环境、市场形式等外围因素来决定的。
7、测试、包装
经过上述工艺流程以后,芯片制作就已经全部完成了,这一步骤是将芯片进行测试、剔除不良品,以及包装。
芯片是怎样制造的?
在美国俄勒冈州HILLSBORO市,芯片结构设计人员正致力于最新芯片上集成更多的晶体管,以提高芯片的性能。INTEL公司生产的第一个微处理器芯片是1971年交付给日本生产计算器的厂商,该芯片上集成了2300个晶体管;而1997年5月问世的300HZ时钟频率的奔腾Ⅱ处理器芯片2千多万个晶体管。为核对多层微处理器上晶体管的位置,INTEL公司的电路布线专家在计算机显示屏上检查芯片的电路版图。
完整的设计图随后传送给主计算机并经电子束曝光机进行处理,完成将这些设计图“刻写”在置于一块石英玻璃上的金属薄膜上,制造出掩膜。制作芯片是对薄膜进行重复进行涂光敏胶、光刻和腐蚀的组合处理,掩膜起着一个很像照相制版的负片作用。精确调准每个掩膜最为重要:如果一个掩膜偏离几分之一微米(百万分之一),则整个硅圆片就报废不能用。
当光通过掩膜照射,电路图就“印制”在硅晶片上。每一个芯片大约需用20个掩膜,这些掩膜要在整个工艺过程棗从硅圆片到制造最终的芯片包括几百个工艺的流程的不同的位置点上定位。最终一块八英寸的硅圆片能够做出200多个奔腾Ⅱ微处理器芯片。
一旦完成芯片制作过程,硅圆片在金刚石切割机床上被分切成单个的芯片棗到此的单个芯片被称为“管芯”(DIE)。将每个管芯分隔放置在一个无静电的平板框中,并传送至下一步)棗管芯配联棗芯片被插装进它的封装中。芯片封装保护管芯避免受环境因素影响,同时提供管芯和电路板通讯所必需的电连接,封装好的芯片在随后的使用中将要安装固定在电路板上。
在芯片制造背后潜藏的文化也许才是生产过程最具魅力的因素。在美国新墨西哥州RIO RANCHO市,有一个世界上最大制造工厂即为芯片制造工厂,永不停歇的生产,仅洁净厂房就有三个足球场那样大。在冥冥世界的大气氛围中,穿戴着GORE棗TEX?品牌肥大的服装的技术员们12小时轮班工作。要求工作人员在他们的衣服上套穿这种洁净服装目的在避免诸如脱落的皮肤细胞的微小尘埃残留在微电路上。
为进一步减少空中尘埃颗粒,技术员们戴上头罩,泵出他们呼吸产生的空气要通过一个专门的过滤器。另外,安装在吊棚内的数个大功率泵,频繁地将已经过滤的空气源源吹送进厂房,一分钟要倾泻吹送8次。从硅圆片到芯片到上市,全过程要花费45天
从沙子到芯片,cpu是怎么制造的
从沙子到芯片,看看CPU是如何制造出来的
1、沙子 / 硅锭
硅是地壳中含量位居第二的元素。
常识:沙子含硅量很高。
硅 — 计算机芯片的原料 — 是一种半导体材料,也就是说通过掺杂,硅可以转变成导电性良好的导体或绝缘体。
[注:半导体是导电性介于导体和绝缘体之间的一种材料。掺杂是一种手段,通常加入少量其它某种元素改变导电性。]
熔融的硅 — 尺寸:晶圆级 (~300毫米 / 12英寸)
为了能用于制造计算机芯片,硅必须被提纯到很高的纯度(10亿个原子中至多有一个其它原子,也就是99.9999999%以上) 硅在熔融状态被抽取出来后凝固,该固体是一种由单个连续无间断的晶格点阵排列的圆柱,也就是硅锭。
单晶硅锭 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸) 硅锭的直径大约300毫米,重约100千克。
单晶硅就是说整块硅就一个晶体,我们日长生活中见到的金属和非金属单质或化合物多数以多晶体形态存在。
2、硅锭 / 晶圆
切割 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
硅锭被切割成单个的硅片,称之为晶圆。每个晶圆的直径为300毫米,厚度大约1毫米。
晶圆 – 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
晶圆抛光,直到无瑕,能当镜子照。Intel从供货商那里购买晶圆。目前晶圆的供货尺寸比以往有所上长,而平均下来每个芯片的制造成本有所下降。目前供货商提供的晶圆直径300毫米,工业用晶圆有长到450毫米的趋势。
在一片晶圆上制造芯片需要几百个精确控制的工序,不同的材料上一层覆一层。
下面简要介绍芯片的复杂制造过程中几个比较重要的工序。
3、光刻
光刻胶的使用 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
光刻是用一种特殊的方法把某种图像印到晶圆上的过程。开始时使用一种称为光刻胶的液体,把它均匀的浇注到旋转的晶圆上。光刻胶这个名字的来源于是这样的,人们发现有一种物质对特定频率的光敏感,它能够抵御某种特殊化学物质的腐蚀,蚀刻中涂覆刻它可起到保护作用,蚀掉不想要的材质。
曝光 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
光刻胶硬化后,用一定频率的紫外线照射后变得可溶。曝光过程需要用到膜片,膜片起到印模的作用,如此一来,只有曝光部分的光刻胶可溶。膜片的图像(电路)印到了晶圆上。电路图像要经过透镜缩小,曝光设备在晶圆上来回移动多次,也就是说曝光多次后电路图才能彻底印上去。
[注:跟古老的照相机底片的原理类似]
溶解光刻胶 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
通过化学过程溶解曝光的光刻胶,被膜片盖住的光刻胶保留下来。
4、离子注入
离子注入 — 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
覆盖着光刻胶的晶圆经过离子束(带正电荷或负电荷的原子)轰击后,未被光刻胶覆盖的部分嵌入了杂质(高速离子冲进未被光刻胶覆盖的硅的表面),该过程称为掺杂。由于硅里进入了杂质,这会改变某些区域硅的导电性(导电或绝缘,这依赖于使用的离子)。这里展示一下空洞(well)的制作,这些区域将会形成晶体管。
[注:据说这种用于注入的带电粒子被电场加速后可达30万千米/小时]
去除光刻胶— 尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
离子注入后,光刻胶被清除,在掺杂区形成晶体管。
晶体管形成初期 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
图中是放大晶圆的一个点,此处有一个晶体管。绿色区域代表掺杂硅。现在的晶圆会有几千亿个这样的区域来容纳晶体管。
5、刻蚀
刻蚀 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
为了给三门晶体管制造一个鳍片(fin),上述光刻过程中,使用一种称为硬膜片(蓝色)的图像材料。
然后用一种化学物质刻蚀掉不想要的硅,留下覆盖着硬膜片的鳍片。
6、临时门的形成
二氧化硅门电介质 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
在光刻阶段,部分晶体管用光刻胶覆盖,把晶圆插入到充满氧的管状熔炉中,产生一薄层二氧化硅(红色),这就造就了一个临时门电介质。
多晶硅门电极 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
在光刻阶段,制造一层多晶硅(黄色),这就造就了一个临时门电极。
绝缘 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
在氧化阶段,整个晶圆的二氧化硅层(红色透明)用于跟其它部分绝缘。
英特尔使用”最后门” (也称为 “替代金属门”)技术制作晶体管金属门。这种做法的目的是确保晶体管不出现稳定性问题,否则高温的工序会导致晶体管不稳定。
7、“最后门” 高K/金属门的形成
[注:介电常数K为高还是低是相对的,但英特尔的标准跟业界不同,业界普遍采用IBM的标准,用低K介质能减少漏电流,但是加工困难,目前大规模数字电路多用高K介质。]
牺牲门的去除 — 尺寸:晶体管级(大约50~200纳米)
用膜片工序里的做法,临时(牺牲)门电极和门电介质被刻蚀掉。真实门现在就会形成了,因为第一门被去掉了,该工序称为“最后门”。
高K电介质的使用 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
在称为”原子层”沉积的过程中,晶圆表面覆了一层分子。图中黄色层代表这些层中的两层。使用光刻技术,在不想要的区域(例如透明二氧化硅的上面)里,高K材质被刻蚀掉。
金属门 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
晶圆上形成金属电极 (蓝色),不想要的区域用光刻的办法刻蚀掉。 跟高K材料配合(薄薄的黄色层)起来使用,可以改善晶体管性能,减少漏电流的产生,这是使用传统的二氧化硅 / 多晶硅门不能企及的。
8、金属沉积
晶体管就绪 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
晶体管的建造快竣工了。
晶体管上方的绝缘层刻蚀出3个小洞,这3个洞里被填充上铜或其它材质,以便跟别的晶体管导通。
[注:晶体管也就是通俗意义上的三极管,需要3个引线脚,所以一个晶体管的绝缘层上得刻蚀出3个小洞]
电镀 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
在该阶段,晶圆浸在硫酸铜溶液里,作为阴极,铜离子从阳极出发到达阴极,最后铜离子会沉积在晶体管表面。
电镀后序 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
经过电镀,铜离子在晶圆表面沉积下来形成薄薄的一层铜 。
9、金属层
抛光 — 尺寸:晶体管级 (大约50~200纳米)
多余的材质会被机械抛光,直到露出光亮的铜为止。
金属层 — 尺寸:晶体管级(6个晶体管组合起来大约500纳米)
构造多重金属层以一种特殊的结构来导通(请考虑宏观世界中的“导线”)晶体管,这些“导线”怎么连接,要由某个型号处理器(例如第2代英特尔Core I5处理器)的架构师和设计团队来决定。
尽管计算机芯片看上去十分平整,其实可能会超过30层,是一个十分复杂的电路。 一个放大的芯片看上去是由电线和晶体管组成的错综复杂的网络,该网络看上去像将来某天地面上建造成的多层高速公路系统。
当所有的内层连通以后,每个die上都会被附上阵列焊盘,这些焊盘是芯片跟外面世界的电气连接通道(图中未画出焊盘)。
[注:我们常说的22纳米工艺就是指上述铜“导线”宽度,焊盘将来用于激光焊接CPU针脚或触点。Die一直没有对应的中文,但很多人都知道它是CPU的内部电路。]
晶圆分类 / 分离
晶圆分类 — 尺寸 die级 (大约10毫米 / 大约0.5英寸)
接触晶圆上一些特别的点,逐个测试晶圆上的die的电气参数,跟正确结果吻合的die算是通过。
尺寸:晶圆级(大约300毫米/12英寸)
晶圆被切割成很多小块 (称为die)上述的晶圆包含了处理器。
10、包装
单个Die — 尺寸:die级 (大约10毫米/大约0.5英寸)
单个的die经过前面的工序后被切割成单件。这里显示的是英特尔22纳米微处理的代号Ivy Bridge的die。
打包 — 尺寸:包装级 (大约20毫米 / 大约1英寸)
打包基板,die(电路部分)和导热盖粘在一起形成一个完整的处理器。绿色的基板具有电子和机械接口跟PC系统的其它部分通信。银色的导热盖可以跟散热器接触散发CPU产生的热量。
处理器 — 尺寸:包装级 (大约20毫米 / 大约1英寸)
完整的微处理器 (Ivy Bridge) 被称为人类制造出的最复杂的产品。实际上,处理器需要几百个工序来完成—上述仅仅介绍了最重要的工序— 是在世界上最洁净的环境 下(微处理器工厂里) 完成的。
[注,粉尘会导致电路短路,制造精密的电路必须在无尘的环境下进行。例如,目前计算机主板要求的无尘环境是1万等级,也就是说平均1万立方米空气中不得多于1粒粉尘。CPU电路更加精细,对无尘环境要求会更高]
11、级别测试 / 完整的处理器
级别测试 — 尺寸:包装级 (大约20毫米 / 大约1英寸)
在这个最后的测试阶段,处理器要经过全面的测试,包括功能,性能,功耗。
筛选 — 尺寸:包装级 (大约20毫米 / 大约1英寸)
根据测试结果筛选,性能相同的处理器放一起,一个托盘一个托盘的存放,然后发给客户。
零售包装 — 尺寸:包装级 (大约20毫米 / 大约1英寸)
生产和测试好的处理器供给系统制造商或以盒包的形式进入零售市场。
[注:从这一步容易了解到,盒包与散片质量无任何差别,在Intel看来,同一系列同一主频的U体制差别很小。]
沙子是如何制作成芯片的?
芯片一般都是是半导体材料如硅,锗和一些其他的材料参杂成的,沙子里面含有SIO2,可以通过技术进行提纯的.
半导体芯片制造有哪些工艺流程,会用到那些设备,这些设备的生产商有哪些?
主要是对硅晶片(Si wafer)的一系列处理
1、清洗 -> 2、在晶片上铺一层所需要的半导体 -> 3、加上掩膜 -> 4、把不要的部分腐蚀掉 -> 5、清洗
重复2到5就可以得到所需要的芯片了
Cleaning -> Deposition -> Mask Deposition -> Etching -> Cleaning
1、中的清洗过程中会用到硝酸,氢氟酸等酸,用于清洗有机物和无机物的污染
其中Deposition过程可能会用到多种器材,比如HELIOS等~
Mask Deposition过程中需要很多器材,包括Spinner,Hot plate,EVG等等~
根据材料不同或者需要的工艺精度不同,Etching也分很多器材,可以使用专门的液体做Wet etch,或者用离子做Plasma Etching等
最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~
多数器材都是Oxford Instruments出的
具体建议你去多看看相关的英文书,这里说不清楚。。
LED芯片制造工艺流程是什么?
外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。
其实外延片的生产制作过程是非常复杂的,在展完外延片后,下一步就开始对LED外延片做电极(P极,N极),接着就开始用激光机切割LED外延片(以前切割LED外延片主要用钻石刀),制造成芯片后,在晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试.
1、 主要对电压、波长、亮度进行测试,能符合正常出货标准参数的晶圆片再继续做下一步的操作,如果这九点测试不符合相关要求的晶圆片,就放在一边另外处理。
2、 晶圆切割成芯片后,100%的目检(VI/VC),操作者要使用放大30倍数的显微镜下进行目测。
3、 接着使用全自动分类机根据不同的电压,波长,亮度的预测参数对芯片进行全自动化挑选、测试和分类。
4、 最后对LED芯片进行检查(VC)和贴标签。芯片区域要在蓝膜的中心,蓝膜上最多有5000粒芯片,但必须保证每张蓝膜上芯片的数量不得少于1000粒,芯片类型、批号、数量和光电测量统计数据记录在标签上,附在蜡光纸的背面。蓝膜上的芯片将做最后的目检测试与第一次目检标准相同,确保芯片排列整齐和质量合格。这样就制成LED芯片(目前市场上统称方片)。
在LED芯片制作过程中,把一些有缺陷的或者电极有磨损的芯片,分捡出来,这些就是后面的散晶,此时在蓝膜上有一些不符合正常出货要求的晶片,也就自然成了边片或毛片等。
刚才谈到在晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试,对于不符合相关要求的晶圆片作另外处理,这些晶圆片是不能直接用来做LED方片,也就不做任何分检了,直接卖给客户了,也就是目前市场上的LED大圆片(但是大圆片里也有好东西,如方片)。
电脑芯片是如何制造的
一般的电脑芯片都是在电脑事先设计好板式,在不同的PCB板组合过程中用纳米技术打上电路给焊点,至于材料,一般选取耐热、寿命相对较长、成本较低的做,难做是正常的,不然价格不会这么高
ASIC芯片从研发到生产的整个过程是怎么样的?能详细的介绍一下吗?
拿到设计要求和指标-〉选定库-〉进行HDL描述(此步开始为前端)-〉编译、仿真-〉由EDA工具辅助进行综合-〉得到RTL级描述(门级网表)-〉调用库文件+版图布局布线(姑且从这步称为后端)-〉各类优化-〉仿真、验证-〉流片-〉封装-〉测试 注意,以上仅为ASIC(半定制)设计流程,而且ASIC设计过程相对全定制设计简单,一般也不怎么区分前后端设计.另:晶圆是一大片单晶硅,构成芯片的无数半导体管子(三极管或MOS之类的),全部是在此硅片上通过光刻、掺杂、淀积等步骤集成上去的.等工艺完成后,经过切割和封装就可以制造好芯片的.
集成电路是怎样制造出来?
微电子技术涉及的行业很多,包括化工、光电技术、半导体材料、精密设备制造、软件等,其中又以集成电路技术为核心,包括集成电路的设计、制造.集成电路(IC)常用基本概念有:
晶圆,多指单晶硅圆片,由普通硅沙拉制提炼而成,是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至更大规格.晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就多,可降低成本;但要求材料技术和生产技术更高.
前、后工序:IC制造过程中, 晶圆光刻的工艺(即所谓流片),被称为前工序,这是IC制造的最要害技术;晶圆流片后,其切割、封装等工序被称为后工序.
光刻:IC生产的主要工艺手段,指用光技术在晶圆上刻蚀电路.
线宽:4微米/1微米/0.6微未/0.35微米/035微米等,是指IC生产工艺可达到的最小导线宽度,是IC工艺先进水平的主要指标.线宽越小,集成度就高,在同一面积上就集成更多电路单元.
封装:指把硅片上的电路管脚,用导线接引到外部接头处,以便与其它器件连接.
存储器:专门用于保存数据信息的IC.
逻辑电路:以二进制为原理的数字电路。
1.集成电路
随着电子技术的发展及各种电器的普及,集成电路的应用越来越广,大到飞入太空的”神州五号”,小到我们身边的电子手表,里面都有我们下面将要说到的集成电路。
我们将各种电子元器件以相互联系的状态集成到半导体材料(主要是硅)或者绝缘体材料薄层片子上,再用一个管壳将其封装起来,构成一个完整的、具有一定功能的电路或系统。这种有一定功能的电路或系统就是集成电路了。就像人体由不同器官组成,各个器官各司其能而又相辅相成,少掉任何一部分都不能完整地工作一样。任何一个集成电路要工作就必须具有接收信号的输入端口、发送信号的输出端口以及对信号进行处理的控制电路。输入、输出(I/O)端口简单的说就是我们经常看到的插口或者插头,而控制电路是看不到的,这是集成电路制造厂在净化间里制造出来的。
如果将集成电路按集成度高低分类,可以分为小规模(SSI)、中规模(MSI)、大规模(LSI)和超大规模(VLSI)。近年来出现的特大规模集成电路(UISI),以小于1um为最小的设计尺寸,这样将在每个片子上有一千万到一亿个元件。
2.系统芯片(SOC)
不知道大家有没有看过美国大片《终结者》,在看电影的时候,有没有想过,机器人为什么能够像人一样分析各种问题,作出各种动作,好像他也有大脑,也有记忆一样。其实他里面就是有个系统芯片(SOC)在工作。当然,那个是科幻片,科技还没有发展到那个水平。但是SOC已成为集成电路设计学领域里的一大热点。在不久的未来,它就可以像”终结者”一样进行工作了。
系统芯片是采用低于0.6um工艺尺寸的电路,包含一个或者多个微处理器(大脑),并且有相当容量的存储器(用来记忆),在一块芯片上实现多种电路,能够自主地工作,这里的多种电路就是对信号进行操作的各种电路,就像我们的手、脚,各有各的功能。这种集成电路可以重复使用原来就已经设计好的功能复杂的电路模块,这就给设计者节省了大量时间。
SOC技术被广泛认同的根本原因,并不在于它拥有什么非常特别的功能,而在于它可以在较短的时间内被设计出来。SOC的主要价值是可以有效地降低电子信息系统产品的开发成本,缩短产品的上市周期,增强产品的市场竞争力。
3.集成电路设计
对于”设计”这个词,大家肯定不会感到陌生。在修建三峡水电站之前,我们首先要根据地理位置、水流缓急等情况把它在电脑上设计出来。制造集成电路同样也要根据所需要电路的功能把它在电脑上设计出来。
集成电路设计简单的说就是设计硬件电路。我们在做任何事情之前都会仔细地思考究竟怎么样才能更好地完成这件事以达到我们预期的目的。我们需要一个安排、一个思路。设计集成电路时,设计者首先根据对电路性能和功能的要求提出设计构思。然后将这样一个构思逐步细化,利用电子设计自动化软件实现具有这些性能和功能的集成电路。假如我们现在需要一个火警电路,当室内的温度高于50℃就报警。设计者将按照我们的要求构思,在计算机上利用软件完成设计版图并模拟测试。如果模拟测试成功,就可以说已经实现了我们所要的电路。
集成电路设计一般可分为层次化设计和结构化设计。层次化设计就是把复杂的系统简化,分为一层一层的,这样有利于发现并纠正错误;结构化设计则是把复杂的系统分为可操作的几个部分,允许一个设计者只设计其中一部分或更多,这样其他设计者就可以利用他已经设计好的部分,达到资源共享。
4.硅片制造
我们知道许多电器中都有一些薄片,这些薄片在电器中发挥着重要的作用,它们都是以硅片为原材料制造出来的。硅片制造为芯片的生产提供了所需的硅片。那么硅片又是怎样制造出来的呢?
硅片是从大块的硅晶体上切割下来的,而这些大块的硅晶体是由普通硅沙拉制提炼而成的。可能我们有这样的经历,块糖在温度高的时候就会熔化,要是粘到手上就会拉出一条细丝,而当细丝拉到离那颗糖较远的地方时就会变硬。其实我们这儿制造硅片,首先就是利用这个原理,将普通的硅熔化,拉制出大块的硅晶体。然后将头部和尾部切掉,再用机械对其进行修整至合适直径。这时看到的就是有合适直径和一定长度的”硅棒”。再把”硅棒”切成一片一片薄薄的圆片,圆片每一处的厚度必须是近似相等的,这是硅片制造中比较关键的工作。最后再通过腐蚀去除切割时残留的损伤。这时候一片片完美的硅圆片就制造出来了。
5.硅单晶圆片
我们制造一个芯片,需要先将普通的硅制造成硅单晶圆片,然后再通过一系列工艺步骤将硅单晶圆片制造成芯片。下面我们就来看一下什么是硅单晶圆片。
从材料上看,硅单晶圆片的主要材料是硅,而且是单晶硅;从形状上看,它是圆形片状的。硅单晶圆片是最常用的半导体材料,它是硅到芯片制造过程中的一个状态,是为了芯片生产而制造出来的集成电路原材料。它是在超净化间里通过各种工艺流程制造出来的圆形薄片,这样的薄片必须两面近似平行且足够平整。硅单晶圆片越大,同一圆片上生产的集成电路就越多,这样既可降低成本,又能提高成品率,但材料技术和生产技术要求会更高。
如果按直径分类,硅单晶圆片可以分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来又发展出12英寸甚至更大规格。最近国内最大的硅单晶圆片制造厂——中芯国际就准备在北京建设一条12英寸的晶圆生长线。
6.芯片制造
随着科学技术的飞速发展,芯片的性能越来越高,而体积却越来越小。我们在使用各种电子产品时无不叹服现代科技所创造的奇迹。而这样的奇迹,你知道是怎样被创造出来的吗?
芯片是用地球上最普遍的元素硅制造出来的。地球上呈矿石形态的砂子,在对它进行极不寻常的加工转变之后,这种简单的元素就变成了用来制作集成电路芯片的硅片。
我们把电脑上设计出来的电路图用光照到金属薄膜上,制造出掩膜。就象灯光从门缝透过来,在地上形成光条,若光和金属薄膜能起作用而使金属薄膜在光照到的地方形成孔,那就在其表面有电路的地方形成了孔,这样就制作好了掩膜。我们再把刚制作好的掩膜盖在硅片上,当光通过掩膜照射,电路图就”印制”在硅晶片上。如果我们按照电路图使应该导电的地方连通,应该绝缘的地方断开,这样我们就在硅片上形成了所需要的电路。我们需要多个掩膜,形成上下多层连通的电路,那么就将原来的硅片制造成了芯片。所以我们说硅片是芯片制造的原材料,硅片制造是为芯片制造准备的。
7.EMS
提起EMS,大家可能会想到邮政特快专递,但我们集成电路产业里面所说的EMS是指没有自己的品牌产品,专门替品牌厂商生产的电子合约制造商,也称电子制造服务企业。那么就让我们来看一下电子合约制造商到底是干什么的。
所谓电子合约制造商,就是把别人的定单拿过来,替别人加工生产,就像是我们请钟点工回来打扫卫生、做饭一样,他们必须按照我们的要求来做事。EMS在各个方面,各个环节都有优势,从采购到生产、销售甚至在设计方面都具有自己的特色。因而它成了专门为品牌厂商生产商品的企业。EMS的优势在于它的制造成本低,反应速度快,有自己一定的设计能力和强大的物流渠道。
最近,一些国际知名的EMS电子制造商正在将他们的制造基地向中国全面转移。他们的到来当然会冲击国内做制造的企业。但是对其他企业来说可能就是个好消息,因为这些EMS必须要依靠本地的供应商提供零部件。
8.流片
在观看了电影《摩登时代》后,我们可能经常想起卓别林钮螺丝的那个镜头。大家知道影片中那种流水线一样的生产就是生产线。只是随着科学技术的发展,在现在的生产线上卓别林所演的角色已经被机器取代了。我们像流水线一样通过一系列工艺步骤制造芯片,这就是流片。
在芯片制造过程中一般有两段时间可以叫做流片。在大规模生产芯片时,那流水线一样地生产就是其中之一。大家可能很早就已经知道了这个过程叫流片,但下面这种情况就不能尽说其详了。我们在搞设计的时候发现某个地方可以进行修改以取得更好的效果,但又怕这样的修改会给芯片带来意想不到的后果,如果根据这样一个有问题的设计大规模地制造芯片,那么损失就会很大。所以为了测试集成电路设计是否成功,必须进行流片,即从一个电路图到一块芯片,检验每一个工艺步骤是否可行,检验电路是否具备我们所要的性能和功能。如果流片成功,就可以大规模地制造芯片;反之,我们就需要找出其中的原因,并进行相应的优化设计。
9.多项目晶圆(MPW)
随着制造工艺水平的提高,在生产线上制造芯片的费用不断上涨,一次0.6微米工艺的生产费用就要20-30万元,而一次0.35微米工艺的生产费用则需要60-80万元。如果设计中存在问题,那么制造出来的所有芯片将全部报废。为了降低成本,我们采用了多项目晶圆。
所谓多项目晶圆(简称MPW),就是将多种具有相同工艺的集成电路设计放在同一个硅圆片上、在同一生产线上生产,生产出来后,每个设计项目可以得到数十片芯片样品,这一数量足够用于设计开发阶段的实验、测试。而实验费用就由所有参加多项目晶圆的项目按照各自所占的芯片面积分摊,极大地降低了实验成本。这就很象我们都想吃巧克力,但是我们没有必要每个人都去买一盒,可以只买来一盒分着吃,然后按照各人吃了多少付钱。
多项目晶圆提高了设计效率,降低了开发成本,为设计人员提供了实践机会,并促进了集成电路设计成果转化,对IC设计人才的培训,及新产品的开发研制均有相当的促进作用。
10.晶圆代工
我们知道中芯国际是中国大陆知名的IT企业,可能也听说了这样一个消息,就是”台积电”将要来大陆投资建厂。他们所从事的工作都是晶圆代工。那现在让我们来了解一下什么是晶圆代工。
我们是熟悉加工坊的,它使用各种设备把客户送过去需要加工的小麦、水稻加工成为需要的面粉、大米等。这样就没有必要每个需要加工粮食的人都来建造加工坊。我们现在的晶圆代工厂就像是一个加工坊。晶圆代工就是向专业的集成电路设计公司或电子厂商提供专门的制造服务。这种经营模式使得集成电路设计公司不需要自己承担造价昂贵的厂房,就能生产。这就意味着,台积电等晶圆代工商将庞大的建厂风险分摊到广大的客户群以及多样化的产品上,从而集中开发更先进的制造流程。
随着半导体技术的发展,晶圆代工所需投资也越来越大,现在最普遍采用的8英寸生产线,投资建成一条就需要10亿美元。尽管如此,很多晶圆代工厂还是投进去很多资金、采购了很多设备。这足以说明晶圆代工将在不久的未来取得很大发展,占全球半导体产业的比重也将与日俱增。
11.SMT
我们经常会看到电器里有块板子,上面有很多电子器件。要是有机会看到板子的背面,你将看到正面器件的”脚”都通过板子上的孔到背面来了。现在出现了一种新兴技术,比我们刚才说的穿孔技术有更多优点。
SMT 即表面贴装技术,是电子组装业中的一个新秀。随着电子产品的小型化,占面积太大的穿孔技术将不再适合,只能采用表面贴装技术。它不需要在板上穿孔,而是直接贴在正面。当然器件的”脚”就得短一点,细一点。SMT使电子组装变得越来越快速和简单,使电子产品的更新换代速度越来越快,价格也越来越低。这样厂方就会更乐意采用这种技术以低成本高产量生产出优质产品以满足顾客需求和加强市场竞争力。
SMT的组装密度高、电子产品体积和重量只有原来的十分之一左右。一般采用SMT技术后,电子产品的可靠性高,抗振能力强。而且SMT易于实现自动化,能够提高生产效率,降低成本,这样就节省了大量的能源、设备、人力和时间。
12.芯片封装
我们在走进商场的时候,就会发现里面几乎每个商品都被包装过。那么我们即将说到的封装和包装有什么区别呢?
封装就是安装半导体集成电路芯片用的外壳。因为芯片必须与外界隔离,以防止空气中的杂质对芯片电路的腐蚀而造成电路性能下降,所以封装是至关重要的。封装后的芯片也更便于安装和运输。封装的这些作用和包装是基本相似的,但它又有独特之处。封装不仅起着安放、固定、密封、保护芯片和增强电路性能的作用,而且还是沟通芯片内部世界与外部电路的桥梁–芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印制板上的导线与其他器件建立连接。因此,封装对 CPU和其他大规模集成电路都起着重要的作用。随着CPU和其他大规模电路的进步,集成电路的封装形式也将有相应的发展。
芯片的封装技术已经历了好几代的变迁,技术指标一代比一代先进,芯片面积与封装面积之比(衡量封装技术水平的主要指标)越来越接近于1,适用频率越来越高,耐温性能也越来越好。它还具有重量小,可靠性高,使用方便等优点。
13.芯片测试
为了能在当今激烈的市场竞争中立于不败之地,电子产品的生产厂家就必需确保产品质量。而为了保证产品质量,在生产过程中就需要采用各类测试技术进行检测,以及时发现缺陷和故障并进行修复。
我们在使用某个芯片的时候,经常发现这样的现象,就是芯片的其中几个引脚没有用到。我们甚至还会以为这样子使用这个芯片是用错了。其实这几个引脚是用来测试用的。在芯片被制造出来之后,还要由芯片测试工程师对芯片进行测试,看这些生产出来的芯片的性能是否符合要求、芯片的功能是否能够实现。实际上,我们这种测试方法只是接触式测试,芯片测试技术中还有非接触式测试。
随着线路板上元器件组装密度的提高,传统的电路接触式测试受到了极大的限制,而非接触式测试的应用越来越普遍。所谓非接触测试,主要就是利用光这种物质对制造过程中或者已经制造出来的芯片进行测试。这就好像一个人觉得腿痛,他就去医院进行一个X光透视,看看腿是不是出现骨折或者其他问题。这种方法不会收到元器件密度的影响,能够以很快的测试速度找出缺陷。
14.覆晶封装技术
我们都知道鸟笼是用竹棒把上下两块木板撑出一个空间,鸟就生活在这里面。我们将要说到的覆晶封装和鸟笼是有相似之处的。下面我们就来看一下什么是覆晶封装技术。
我们通常把晶片经过一系列工艺后形成了电路结构的一面称作晶片的正面。原先的封装技术是在衬底之上的晶片的正面是一直朝上的,而覆晶技术是将晶片的正面反过来,在晶片(看作上面那块板)和衬底(看作下面那块板)之间及电路的外围使用凸块(看作竹棒)连接,也就是说,由晶片、衬底、凸块形成了一个空间,而电路结构(看作鸟)就在这个空间里面。这样封装出来的芯片具有体积小、性能高、连线短等优点。
随着半导体业的迅速发展,覆晶封装技术势必成为封装业的主流。典型的覆晶封装结构是由凸块下面的冶金层、焊点、金属垫层所构成,因此冶金层在元件作用时的消耗将严重影响到整个结构的可靠度和元件的使用寿命。
15.凸块制程
我们小时候经常玩橡皮泥,可能还这样子玩过,就是先把橡皮泥捏成一个头状,再在上面加上眼睛、鼻子、耳朵等。而我们长凸块就和刚刚说到的”长”眼睛、鼻子、耳朵差不多了。
晶圆制造完成后,在晶圆上进行长凸块制程。在晶圆上生长凸块后,我们所看到的就像是一个平底锅,锅的边沿就是凸块,而中间部分就是用来形成电路结构的。按凸块的结构分,可以把它分为本体和球下冶金层(UBM)两个部分。
就目前晶圆凸块制程而言,可分为印刷技术和电镀技术,两种技术各擅胜场。就电镀技术而言,其优势是能提供更好的线宽和凸块平面度,可提供较大的芯片面积,同时电镀凸块技术适合高铅制程的特性,可更大幅度地提高芯片的可靠度,增加芯片的强度与运作效能。而印刷技术的制作成本低廉较具有弹性,适用于大量和小量的生产,但是制程控制不易,使得这种方法较少运用于生产凸块间距小于150μm的产品。
16.晶圆级封装
在一些古董展览会上,我们经常会看到这样的情形,即用一只玻璃罩罩在古董上。为了空气不腐蚀古董,还会采用一些方法使玻璃罩和下面的座垫之间密封。下面我们借用这个例子来理解晶圆级封装。
晶圆级封装(WLP)就是在其上已经有某些电路微结构(好比古董)的晶片(好比座垫)与另一块经腐蚀带有空腔的晶片(好比玻璃罩)用化学键结合在一起。在这些电路微结构体的上面就形成了一个带有密闭空腔的保护体(硅帽),可以避免器件在以后的工艺步骤中遭到损坏,也保证了晶片的清洁和结构体免受污染。这种方法使得微结构体处于真空或惰性气体环境中,因而能够提高器件的品质。
随着IC芯片的功能与高度集成的需求越来越大,目前半导体封装产业正向晶圆级封装方向发展。它是一种常用的提高硅片集成度的方法,具有降低测试和封装成本,降低引线电感,提高电容特性,改良散热通道,降低贴装高度等优点。
17.晶圆位阶的芯片级封装技术
半导体封装技术在过去二十年间取得了长足的发展,预计在今后二十年里还会出现更加积极的增长和新一轮的技术进步。晶圆位阶的芯片级封装技术是最近出现的有很大积极意义的封装技术。
我们把芯片原来面积与封装后面积之比接近1:1的理想情况的封装就叫做芯片级封装。就像我们吃桔子,总希望它的皮壳薄点。晶圆位阶的芯片级封装技术就是晶圆位阶处理的芯片级封装技术。它可以有效地提高硅的集成度。晶圆位阶处理就是在晶圆制造出来后,直接在晶圆上就进行各种处理,使相同面积的晶圆可以容纳更多的经芯片级封装的芯片,从而提高硅的集成度。同理,假如我们让人站到一间屋子里去,如果在冬天可能只能站十个人,而在夏天衣服穿少了,那就可以站十一或者十二个人。
晶圆位阶的芯片级封装制程将在今后的几年里以很快的速度成长,这将会在手机等手提电子设备上体现出来。我们以后的手机肯定会有更多的功能,比如可以看电视等,但是它们可能比我们现在使用的更小,那就用到了晶圆位阶的芯片级封装技术。
资料来源:COB邦定技术(http://www.bonding-cob.com/index.asp)
值得一看,从沙子到芯片,看处理器是怎样炼成的
抛光:将多余的铜抛光掉,也就是磨光晶圆表面. 金属层:晶体管级别,六个晶体管的组合,大约500纳米.在不同晶体管之间形成复合互连金属层,具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性.芯片表面看起来异常平滑,但事实上可能包含20多层复杂的电路,放大之后可以看到极其复杂的电路网络,形如未来派的多层高速公路系统. 第七阶段合影